產(chǎn)品介紹
電子束高壓電源，
EBL高壓電源為精密電子束高壓電源應(yīng)用而設(shè)計(jì)，如半導(dǎo)體納米光刻，微光學(xué)和開發(fā)掩模工作。它具有低紋波和出色的穩(wěn)定性規(guī)格，非常適合在這些要求苛刻的應(yīng)用中使用。提供可選擇的低輸出電流和高輸出電流范圍。
電子束高壓電源采用固體封裝的高壓部分消除了任何用戶維護(hù)問題，同時(shí)將組件與環(huán)境變量隔離開來。該裝置完全過載，電弧和短路保護(hù)。提供遠(yuǎn)程控制編程和監(jiān)視功能。允許對(duì)高壓輸出進(jìn)行精確的被動(dòng)測(cè)量。可選USB2.0，網(wǎng)口，RS-232，RS485數(shù)字化通訊，可根據(jù)用戶要求定制。
典型應(yīng)用：
電子束高壓電源
微光學(xué)
半導(dǎo)體光刻
半導(dǎo)體曝光機(jī)
掩模
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.100kV半導(dǎo)體曝光機(jī)高壓電源，電子束高壓電源
2.低/高10μA/100μA輸出電流選擇
3.小于70mV的紋波
4.出色的調(diào)節(jié)和穩(wěn)定性能
5.無油/固體封裝設(shè)計(jì)
6.可選USB2.0，網(wǎng)口，RS-232，RS485數(shù)字化通訊
7.可根據(jù)用戶要求定制
電氣特性：
輸入電壓：
220Vac，±10％，單相50/60赫茲
輸出電壓：
0至100kV，負(fù)極性。外部開關(guān)可選擇105kV，±500伏
輸出電流：
0-10μA，低范圍
0-100μA，高范圍
開關(guān)可選
電壓調(diào)整率：
在指定輸入電壓范圍內(nèi)的額定電壓的±0.001％
負(fù)載調(diào)整率：
≤20V，電流變化為25μA至60μA和60μA至25μA
波紋：
峰峰值≤70mV
高壓微放電：
小于200mV
穩(wěn)定性：
在6小時(shí)預(yù)熱后，每8小時(shí)0.001％，溫度為20℃±0.2℃
溫度系數(shù)：
在10°C至40°C范圍內(nèi)每攝氏度25ppm
環(huán)境：
工作溫度：0到40攝氏度
儲(chǔ)存溫度：-40至85攝氏度
濕度：10至90％RH，無冷凝
冷卻：
對(duì)流冷卻
前面板：
電源開/關(guān)開關(guān)
HV ON / OFF開關(guān)
HV ON / OFF指示燈
模擬輸出電壓表
外形尺寸：
10.25HX 19 WX 27 D（26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm）
重量：
116磅（50千克）
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威思曼高壓電源有限公司是微型高壓電源模塊、高壓電源模塊、X光射線管高壓電源、機(jī)箱高壓電源、定制高壓電源、高壓附件等高壓電源產(chǎn)品的制造商，公司設(shè)計(jì)并制造定制和標(biāo)準(zhǔn)高壓電源產(chǎn)品，功率范圍從100mW到200kW，電壓范圍從60V到500kV。威思曼產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋醫(yī)療、工業(yè)以及科研等領(lǐng)域。高壓電源您可以在威思曼一站式采購(gòu)多個(gè)品種規(guī)格。
威思曼高壓電源有限公司,公司擁有高壓電源研發(fā)團(tuán)隊(duì)，高壓電源研發(fā)軟件和測(cè)試軟件。高電壓絕緣技術(shù)，零電流諧振技術(shù)，使威思曼高壓電源保持高穩(wěn)定性、低紋波、低電磁干擾、體積小，損耗小，效率高，長(zhǎng)壽命。威思曼高壓電源價(jià)格有競(jìng)爭(zhēng)力，是OEM應(yīng)用的理想選擇。
