產(chǎn)品介紹
威思曼的ECD系列軟件驅(qū)動(dòng)的靜電吸盤電源提供一系列功能，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用。該儀器采用了 威思曼放大器技術(shù)，該技術(shù)已證明可提高效率和吞吐量，相當(dāng)于其他電源的三倍。 減少背面氣體錯(cuò)誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；控制參數(shù)，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部振幅/偏移控制；調(diào)整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；使用后面板 I/O、串行計(jì)算機(jī)命令或前面板控制來控制輸出；配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。威思曼的ECD的多功能值得信賴的性能允許在多種獨(dú)特的工具和流程中使用，無需為設(shè)施中的每個(gè)獨(dú)特工具或流程增加新的成本。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可鎖定的前面板控制界面
每個(gè)單元均提供可溯源校準(zhǔn)證書
支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)
將靜電卡盤配置文件上傳并存儲(chǔ)到設(shè)備，并通過用戶友好的軟件界面存儲(chǔ)在內(nèi)部
晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態(tài)
應(yīng)用領(lǐng)域：
靜電驅(qū)動(dòng)的材料處理
半導(dǎo)體晶圓加工
平板或其他對(duì)機(jī)械處理敏感的加工材料的非機(jī)械轉(zhuǎn)移
特性說明：
輸入：DC24V，2A
輸出:
輸出相位
輸出電壓 A（參考相）：0 至 ±3 kV
輸出電壓 B（B 相 =[-1] x A 相）：0 至 ±3kV
輸出電壓范圍：0 至 ±3 kV DC，最大值
輸出電流：0 至 ±6.5 mA DC，峰值能力為 10 mA
電壓顯示：
比例：1V/ 300 V
B相直流：精度優(yōu)于滿量程的 0.5%
失調(diào)電壓:小于 10 毫伏
輸出噪音:低于 50 mV rms
電流顯示：
比例:1 V/1 uA
直流精度:±0.1 微安
輸出噪音:低于 50 mV rms*
運(yùn)行條件：
溫度：0 至 35°C（32 至 104°F）
相對(duì)濕度：至 85%，無冷凝
海拔高度：至 2000 米（6561.68 英尺）
尺寸：高 x 寬 x 深 88.1 x 431.8 x 531.9 毫米（3.47 x 17 x 20.9 英寸），2U 機(jī)箱
重量：5.0 千克（11 磅）
直流輸入插座：2.0 毫米鎖定直流插孔；中心是正和外殼是負(fù)（插座配帶 Switchcraft S761K 插頭）
有接地插座 ，有接地螺栓 。
